產(chǎn)品特點(diǎn)：

安全

帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，從而保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護(hù)，以提供簡(jiǎn)便的初始測(cè)量設(shè)置。

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的本地環(huán)境箱，可為超低噪聲，低電容測(cè)量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測(cè)試環(huán)境。為了防止卡盤和壓盤之間產(chǎn)生電弧，TS2000-HP壓盤是特別設(shè)計(jì)的，具有MPI高級(jí)ArcShield™。 

 高壓探頭（HVP）

低泄漏探頭專門設(shè)計(jì)用于承受高達(dá)10 kV（同軸）和3 kV（三軸）的高壓。選擇各種連接器選項(xiàng)，例如是德科技Triax / UHV，吉時(shí)利Triax / UHV，SHV或Banana。

大電流探頭（HCP）

高性能探針專門設(shè)計(jì)用于高達(dá)200 A（脈沖）的大電流晶片測(cè)量。MPI多指大電流探頭采用單片結(jié)構(gòu)，可有效處理大電流并提供低接觸電阻。

 可選的防電弧液體托盤™

專門設(shè)計(jì)的防電弧LiquidTray™可通過簡(jiǎn)單地放置在大功率卡盤表面上來抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤內(nèi)，以浸沒在液體中進(jìn)行無電弧高壓測(cè)試。

 設(shè)定溫度下的熱/冷硅片互換

自動(dòng)化的單晶片裝載機(jī)和安全測(cè)試管理提供了在任何卡盤溫度下裝載/卸載晶片的*功能。裝載或卸載晶片不再需要冷卻或加熱到環(huán)境溫度。這樣可以節(jié)省大量的停機(jī)時(shí)間，并顯著提高M(jìn)PI測(cè)試系統(tǒng)的整體效率。方便的管理員登錄過程可保護(hù)必要的設(shè)置。

MPI TS2000-HP具有相同的標(biāo)準(zhǔn)功能，例如熱卡盤集成，Safety Test Management™，自動(dòng)單晶片裝載機(jī)，振動(dòng)隔離以及 TS2000-SE 系統(tǒng)的集成探測(cè)器控制。

設(shè)備簡(jiǎn)介：

MPI的自動(dòng)化TS2000-HP可在寬溫度范圍內(nèi)提供可靠的晶圓上大功率設(shè)備測(cè)量，并且測(cè)量能力高達(dá)3 kV（三軸）/ 10 kV（同軸）和600 A（脈沖）。*的ShielDEnvironment™提供低噪聲和屏蔽的測(cè)試環(huán)境。