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性能優(yōu)勢(shì)：下照式設(shè)計(jì)：可以快速方便地定位對(duì)焦樣品

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性能優(yōu)勢(shì)：
 
   下照式設(shè)計(jì)：可以快速方便地定位對(duì)焦樣品。
 
   無(wú)損變焦檢測(cè):可對(duì)各種異形凹槽進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，凹槽深度范圍0-90mm。
 
   微聚焦射線裝置：可檢測(cè)面積小于0.002mm2的樣品，可測(cè)試各微小的部件。
 
   高效率的接收器：即使測(cè)試0.01mm2以下的樣品，幾秒鐘也能達(dá)到穩(wěn)定性。
 
   精密微型滑軌：快速精準(zhǔn)定位樣品。
 
   EFP算法軟件：多層多元素，甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。
 
 
 
  儀器規(guī)格：
 
  外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （長(zhǎng)x寬x高）
 
  樣品倉(cāng)尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （長(zhǎng)x寬x高）
 
  儀器重量 ：55kg
 
  供電電源 ：交流220±5V
 
  功率 ：330W
 
  環(huán)境溫度：15℃-30℃
 
  環(huán)境相對(duì)濕度：<70%

 


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