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LINT-208G型手動(dòng)平面度測試儀

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LINT-208G型手動(dòng)平面度測試儀一.儀器特點(diǎn)該儀器利用美國進(jìn)口的高精度激光源進(jìn)行設(shè)計(jì),利用激光干涉方法對(duì)WAFER的平整度進(jìn)行測量

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LINT-208G型手動(dòng)平面度測試儀
LINT-208G型手動(dòng)平面度測試儀

一.儀器特點(diǎn)

該儀器利用美國進(jìn)口的高精度激光源進(jìn)行設(shè)計(jì),利用激光干涉方法對(duì) WAFER 的平整度進(jìn)行測量。該機(jī)器可廣泛適用于對(duì)如下材料的晶片平整度測量:碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰/鈮酸鋰、藍(lán)玻璃、硅、鍺、藍(lán)寶石、陶瓷、石英、手機(jī)面板玻璃等,材料可以是透明體或不透明體。

本機(jī)可以測量的重要參數(shù)包括:TTV、TIR、WARP、BOW、LFPDTAPER、LTIR、LTV、PLTV、PLTIR、PLFPD、LTV(AVG)等共 12 個(gè)。

二、儀器性能及技術(shù)參數(shù):。

2.1 適用范圍

可用于測量工件尺寸為 Φ2---Φ8INCH)直徑的圓型晶片(方形晶片測量可以定制)


2.2 測量精度

重復(fù)性精度: 0.03μm 測量精度:0.075μm

分辨率: 0.005μm 像素點(diǎn)數(shù): ≥250000

三、儀器外形參數(shù)及使用環(huán)境要求

3.1、激光干涉儀外形參數(shù)(參見圖二) 外形尺寸(高**厚):530*650*780(MM) 儀器重量:75KG

3.2 電器控制柜外形參數(shù):

外形尺寸(高*寬*厚):270*510*400(MM) 控制柜重量:15KG

3.3 環(huán)境要求:

電源:220V/50HZ/10A 功率:≦1.5KW

氣源:使用超凈工業(yè)壓縮空氣或氮?dú)猓?/span>Φ8mm 管徑) 氣壓:≥0.5MPA

用氣量:4M3/H


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