外觀尺寸

760*500*500mm

X、Y測量行程

200*200mm

Z軸可調(diào)行程 

1.6-100mm

有效測量范圍

160*160mm

掃描最小步距

1μm

光斑直徑

18~30μm

橫向分辨率

9~15μm

軸向分辨率

30nm

檢測重復(fù)精度

0.1μm

與表面角度

90°±2°

測量厚度范圍

10~2900μm

適應(yīng)材質(zhì)

Si(硅）、Doped-Si(涂層硅）、Sic（碳化硅）、Sapphire(藍寶石）、GaAs(砷化鎵）、Glass(玻璃）、GaN(氮化鎵）

測量原理

紅外光干涉

電     源

AC220V±10%

重     量

300kg

噪     音

Noise 70db

運行系統(tǒng)

Operational system Win10