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XT H 320柜式系統(tǒng)

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XTH320是一款大型柜式系統(tǒng),適用于對(duì)大尺寸元件進(jìn)行X射線CT掃描和測(cè)量

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XT H 320是一款大型柜式系統(tǒng),適用于對(duì)大尺寸元件進(jìn)行X射線CT掃描和測(cè)量。該系統(tǒng)的320千伏微焦點(diǎn)射線源提供高達(dá)320瓦的功率。它采用高分辨率探測(cè)器采集生成樣品的高質(zhì)量圖像。該系統(tǒng)由Inspect-X軟件控制,使CT數(shù)據(jù)的采集和測(cè)量設(shè)置更加簡(jiǎn)單易行。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的查看軟件可以讀取該系統(tǒng)輸出的體積數(shù)據(jù)。
 

320千伏微焦點(diǎn)
大多數(shù)系統(tǒng)供應(yīng)商只提供225千伏的微焦點(diǎn)源,電壓值再往上就無法做到微焦點(diǎn),而是小焦點(diǎn)。大型樣品通常需要更大的穿透力,因此Nikon Metrology提供320千伏微焦點(diǎn)X射線源。由于這些源的X射線焦點(diǎn)尺寸比小焦點(diǎn)源小幾個(gè)數(shù)量級(jí),最終用戶將享有更高的分辨率和精度以及范圍更廣泛的可測(cè)量部件。



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