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半導體晶圓顯微鏡JX-22A

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◆性能特點:1、系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動載物臺,適合大工件的檢查

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性能特點:
1、系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動載物臺,適合大工件的檢查。
2、采用大視野目鏡和長距平場物鏡,視場寬闊、平坦,成像清晰。 
3、采用“T”型防振結(jié)構(gòu)設計,機械載物臺可慢速或快速移動試樣。
4、整機采用了防霉處理,保護了鏡頭,延長了儀器的使用壽命。 

5、配置了偏光裝置并可選配暗場、微分干涉裝置,拓展了功能。。


典型應用:
1、分析金屬、礦相內(nèi)部結(jié)構(gòu)組織。2、電子廠PCB板、芯片檢驗。
2、觀察材料表面的某些特性,如:劃痕、裂紋、噴涂的均勻性

序號

名稱

技術(shù)參數(shù)

01

平場目鏡

大視野 WF10X(Φ18mm)

02

長距平場物鏡

PLL5X/0.12、10X/0.25、20X/0.40、40X/0.60(可選配半復平場消色差物鏡)

03

總放大倍數(shù)

50X-400X

04

觀察頭

三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)

05

轉(zhuǎn)換器

 (外向式滾珠內(nèi)定位

06

粗微調(diào)調(diào)焦范圍

粗微動同軸調(diào)焦微動格值0.7μm, 粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置

07

載物臺

三層機械移動式尺寸: 280mmX270mm,移動范圍: 204mmX204mm

(標配8寸移動臺,可選6)

08

光瞳距離

53-75mm

09

濾色片

藍、磨砂

10

落射照明系統(tǒng)

6V 20W鹵素燈,亮度可調(diào)

帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,(,,)濾色片和磨砂玻璃



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