美國Photon公司的光束質(zhì)量分析儀NanoScan采用狹縫掃描技術(shù)，在保持BeamScan易用性和靈活性的基礎(chǔ)上提高了產(chǎn)品的主要性能，對紫外到遠(yuǎn)紅外光譜范圍內(nèi)的連續(xù)光和脈沖光均可進(jìn)行測試，探測功率可達(dá)千瓦級．

      NanoScan的掃描速度軟件可控，采用峰值關(guān)聯(lián)算法可對連續(xù)光和kHz以上的脈沖光束進(jìn)行測量，軟件可對1-16個光斑進(jìn)行亞微米精度的測量，而且具有ActiveX自動控制功能，便于把NanoScan 集成到其它系統(tǒng)中。

      NanoScan有硅、鍺以及熱釋電探測器三種可供選擇，光譜響應(yīng)范圍從紫外190nm到100µm以上的遠(yuǎn)紅外，狹縫尺寸最小1.8um，可以測量7um-9mm直徑的光斑，NanoScan光束質(zhì)量分析儀的特點(diǎn)就是不用外加衰減就可以直接測量大功率激光。