結(jié)合金相顯微鏡的高倍觀察能力，與影像測(cè)量?jī)x的X、Y、Z 軸表面尺寸測(cè)量功能，具備明暗場(chǎng)、微分干涉、金相、偏光等多種觀察功能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、、汽車(chē)行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等
型號(hào) | MS |
放大倍率 | 50X、100X、200X、500X |
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)（半復(fù)消色差） |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm，視度可調(diào) |
物鏡 | 長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡（5X、10X） 超長(zhǎng)工作距平場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡（20X） 長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差金相物鏡（50X） |
觀察筒 | 30°傾斜，正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié):50--76mm，兩檔分光比100/0 或0/100 |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC 插槽 |
工作臺(tái) | 測(cè)量顯微鏡主體：帶Z 軸測(cè)量模塊（Z 軸行程175mm）電動(dòng)控制，帶手動(dòng)測(cè)量平臺(tái)（XY行程：200×100mm，帶數(shù)顯器，帶電動(dòng)調(diào)焦控制盒，帶5WLED 透射照明（綠色）；樣品高度150mm； 測(cè)量精度：X、Y：（2+L/200)μm，L 為測(cè)量長(zhǎng)度（單位 mm） Z：（3+L/200)μm |
照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器，帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶5WLED 燈源，亮度可調(diào)（含托架適配器） |
輔助對(duì)焦模塊，帶對(duì)焦分劃板兩檔，帶綠光5WLED 燈源組（含100V-240V 寬電壓，5WLED 控制器） |
偏光裝置 | 起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
攝像附件 | 0.5X攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦 |
相機(jī)軟件 | USB數(shù)字相機(jī)；MS專(zhuān)用測(cè)量軟件 |
