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PXH-200 綜合型探針臺

參考價(jià)10000-300000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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PXH-200探針臺具有優(yōu)異的機(jī)械性能和高精度測試功能,可搭配不同的測試組件實(shí)現(xiàn)多種測試功能,卡盤快速移動功能,可滿足客戶對整片晶圓高效測試的需求,非常適合研發(fā)類實(shí)驗(yàn)室的一次性預(yù)算購置。
測試方向:DC 直流/(IV、CV)測試、RF 射頻測試、FA 失效分析測試、低電流測試、1/f 噪聲測試、器件表征測試、老化測試、大功率/大電流及/大電壓測試等。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

8" 卡盤,包含中心吸附孔和多圈吸附環(huán),真空吸附樣品,均獨(dú)立控制
卡盤采用空氣軸承運(yùn)動平臺技術(shù),可快速大行程移動,三擋控制(X,YXY
卡盤X-Y軸移動行程:200mm*200mm,精度1μm
卡盤Z軸移動行程:10mm,精度 1μm
卡盤的旋轉(zhuǎn)角度:360,精度0.1°,帶刻度尺
卡盤電學(xué)獨(dú)立懸空,可作為背電極引出信號,臺體帶有接地端子
U型針座平臺,可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡,便于針卡重定位
針座平臺快速升降行程6mm,微調(diào)行程60mm,精度1um并帶自動鎖定功能
龍門架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y平面50mm*50mm范圍內(nèi)移動,精度1微米
可調(diào)節(jié)顯微鏡氣動升降50mm,便于更換物鏡,帶升降開關(guān)




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