特點

聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實例

一個微柱狀樣品，包含一個直接從半導體器件上準確地切割下來的分析點。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。

系統(tǒng)配置實例

聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)

新開發(fā)的半導體裝置評估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析，只要幾小時即可完成。

聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用

觀察事例

DRAM 觀察實例