+ 簡單易用，attoFPSensor自動軟件控制與校準

+ 測量速度快，attoFPSensor定位樣品采樣帶寬10MHz，分辨率25pm

+ 實時數(shù)據(jù)采集界面，attoFPSensor利用Ethernet或HSSL實現(xiàn)定位數(shù)據(jù)的實時輸出

+ 多軸同時測量，attoFPSensor配有獨立的三軸定位器，允許同時位移測量、數(shù)據(jù)處理、和定位輸出

+ 精確度*，attoFPSensor鎖定分子吸附頻率做參考值，得到的定位信息具有測量學(xué)意義

+ 世界上zui小體積的位移測量干涉器，15mm直徑和12mm長

attoFPSensor具有*的信號穩(wěn)定性，如上圖時間與位移變化的關(guān)系所示：

在20mm工作距離下，其2σ為0.286nm

在70mm工作距離下，其2σ為0.530nm；

在120mm工作距離下，其2σ為1.035nm

attoFPSensor不僅是功能強大的實時位移探測設(shè)備，而且它還是一個振動器。上圖是測量attocube位移器ANPxyz得到的結(jié)果。

+ 多維度位移干涉器

+ 完備的系統(tǒng)配置

+ 實時數(shù)字化界面

+ 高速FPGA控制單元

+ 10MHz采樣速率

+ zui大1m/s樣品位移速率，可選配更快速率

+ 基于單模光纖的探測器

+ 兼容真空與環(huán)境

+ 高帶寬位移探測

+ 閉環(huán)位移控制

+ MHz范圍內(nèi)的振動測量

+ 目標(biāo)樣品熱負載<75uW

+ 探測器無需進行電子器件鏈接

+ 工業(yè)化設(shè)計

+ 極其可靠與穩(wěn)定