雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)LFT1200C-II 200D50-5Z

爐體結(jié)構(gòu)

 該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃

 爐底安裝一對(duì)滑軌，可手動(dòng)滑動(dòng)，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。

爐管尺寸

Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

輸入電壓

220VAC 單相 50/60Hz

加熱元件

Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）

溫度

溫度：1200℃ 

額定溫度：1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min（推薦）

加熱區(qū)長(zhǎng)度度

    兩個(gè)加熱區(qū)的長(zhǎng)度都是200mm

    分別由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

恒溫區(qū)長(zhǎng)

     100+100mm（±1℃）

     可獲得較長(zhǎng)恒溫區(qū)間

控溫精度

     ±1℃

快速連接法蘭

     Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭

     打開(kāi)法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便
  另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架

五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

MFC-5Z

電壓

 220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質(zhì)

 316不銹鋼

量程

 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇）

工作溫度

 5～45℃

外型尺寸

 600(L) x 600(W) x 700(H) mm

電壓

 AC220V/50Hz單相

功率

 23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

     600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

承載量

     1000 Lbs 

抽氣速率

      10m³/h

    極限真空度：10^-1Pa

    雙層立式油污過(guò)濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件

使用注意事項(xiàng)

     爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa     

    當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

    石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

    對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）