產(chǎn)品簡介 

常溫催化型氣體純化系統(tǒng)

于大宗氣體純化,能為你帶來*成本和高質(zhì)量氣體純化解決方案。具有結(jié)構(gòu)緊湊、低成本運行和可靠性高的優(yōu)點，能有效地純化含有各種雜質(zhì)的大宗氣體達(dá)到超純度的氣體要求，并且兼具最小的壓降和的連續(xù)工作能力。整個系統(tǒng)采用撬裝設(shè)計，其應(yīng)用廣泛，可在不同尺寸要求的現(xiàn)場和各類領(lǐng)域應(yīng)用。

產(chǎn)品性能 

◎適合與不低于99.99%純度的原氣配合使用

◎此產(chǎn)品為雙式結(jié)構(gòu)，一組工作，另一組再生備用

◎氣體純化后水、氧等各種雜質(zhì)含量＜10ppb

◎電化學(xué)拋光316（L）不銹鋼◎內(nèi)置高效過濾器

◎的處理周期設(shè)計,吸附劑裝填量大，使用壽命延長

◎此產(chǎn)品整體撬裝設(shè)計，布局緊湊,占地面積小

產(chǎn)品應(yīng)用 

◎保護(hù)氣純化：鋼鐵、石化、機(jī)械行業(yè)

◎高純單晶硅、晶片外延、大規(guī)模集成電路、光電產(chǎn)品生產(chǎn)等電子工業(yè)所需氣體初級純化。

◎半導(dǎo)體工藝設(shè)備：CVD、MOCVD、HVPE、擴(kuò)散爐等

◎大宗氣體純化

系統(tǒng)參數(shù)