樣品特性

材料

固體材料，液態(tài)聚合物

尺寸（mm）

150×150×150

光束成型和控制

脈沖選擇

集成、自動控制

掃描振鏡

10m/s掃描速度，5×5

聚焦

高NA非球面鏡或物鏡，焦長1.45-18.4mm

SLM（選配）

1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式

位置

類型

XYZ，線性電機，交叉定位，空氣軸承（選配）

加工速度

350mm/s

工作區(qū)域（mm）

160×160

分辨率（nm）

1

位置精度（nm）

±300

重復性（nm）

±50

穩(wěn)定度（nm）

3

樣品支架

真空夾頭

激光參數(shù)

激光介質

Yb:KGW

波長

1028±5nm

功率（W）

4（6，8，10選配）

振蕩器輸出功率（W）

0.7-1.5

脈沖能量（mJ）

1

重頻（KHz）

200（600,1000選配）

脈寬

<200fs-10ps（可調）；<80fs（振蕩器）

光束質量

M2<1.2

輸出脈沖穩(wěn)定性

<1%RMS

諧波產(chǎn)生器

諧波

SH（515nm），TH（343nm）選配，FH（258nm）選配

轉換效率（@200KHz）

>50%（SH），>30%（TH）選配，>10%（FH）選配

軟件控制

功率控制

激光輸出，電動衰減器

位移臺控制

2.5D微加工，3D XYZ指令

控制界面

算法窗口，虛擬或GUI操縱桿

圖形或矢量格式

.bmp，.plt