PFA吸收瓶60ml蓋子螺帽一體成型特氣鼓泡法
品名:PFA吸收瓶
規(guī)格:60ml
貨號:RNKW-PFAXSP-60ml
蓋子上螺帽連接管尺寸1/4英寸,支持定制加工
電子特氣(電子特種氣體)在半導體制造中至關重要,其純度直接影響芯片的性能和良率。PFA(可溶性聚四氟乙烯)吸收瓶因其優(yōu)異的化學穩(wěn)定性、耐腐蝕性和低本底值,成為電子特氣純化(如鼓泡法)的關鍵設備。以下是PFA吸收瓶在電子特氣領域的應用及特點:
1. PFA吸收瓶的作用
PFA吸收瓶主要用于電子特氣的純化,通過鼓泡法(吸收法)去除氣體中的金屬雜質、水分和其他污染物。其工作原理是讓不純氣體通過裝有特定吸收液的PFA瓶,雜質被液體吸附或發(fā)生化學反應,從而提高氣體純度
2. 主要應用場景
半導體制造:用于晶圓生產中的CVD(化學氣相沉積)、刻蝕、摻雜等環(huán)節(jié)的特氣純化
光伏與鋰電行業(yè):高純氣體處理,確保材料純度
金屬雜質分析:如氫氣中的金屬檢測,采用多級PFA吸收瓶串聯
PFA吸收瓶的核心優(yōu)勢
耐腐蝕性:可耐受強酸(如氫氟酸、王水)、強堿及有機溶劑
高純度:金屬雜質含量極低(鉛、鈾<0.01ppb),避免污染氣體
耐溫范圍廣:-200℃至260℃,適用于實驗條件
透明可視:半透明材質便于觀察反應過程
可定制化:支持不同尺寸(60ml~3000ml)、連接方式(1/4"、3/8"管路)及多級串聯設計
PFA吸收瓶60ml蓋子螺帽一體成型特氣鼓泡法
圖片






