激光測振儀(進口)位移分辨率高達0.008納米。測量物體振動的速度,加速度,位移,運動軌跡,頻率.全場激光測振實現(xiàn)整面物體的XY軸的振動測量可以彩色動畫輸出。三維激光測振可以實現(xiàn)三軸振動測量。多點激光測振可以同時實現(xiàn)16個振動點振動并可以測量物體瞬間振動和實時的振動模擬

白光干涉儀:非接觸式三維表面形狀測量儀可以沿垂直軸方向?qū)Ρ粶y物體進行掃描，它采用光學(xué)干涉技術(shù)，精密測量樣品的表面形狀分布。
與共聚焦顯微鏡、調(diào)焦顯微鏡等三維表面測量技術(shù)相比，該表面形狀測量儀具有更高的垂直分辨率。

Sunny VSI三維表面形狀測量儀可安裝在配套的三維數(shù)控平臺上，實現(xiàn)橫向掃描。

系統(tǒng)構(gòu)成
1）光學(xué)照明系統(tǒng)
2）光學(xué)成像系統(tǒng)
3）垂直掃描控制系統(tǒng)：
4）信號處理系統(tǒng)：
5）應(yīng)用軟件：
6）顯示器

應(yīng)用領(lǐng)域
LED晶片基板測量
表面粗糙度/平整度分析
硬盤懸臂焊接點的直徑測量
太陽能電池紋理缺陷檢測

參數(shù) 白光干涉儀型 號 Sunny VSI
垂直測量分辨率 0.05um
橫向測量分辨率 2.767um/plxels
圖像分辨率 768*576 plxels
掃描體積 2.125mm*1.593mm*100um
均方根值重復(fù)精度 <0.5nm