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目錄:北京英格海德分析技術(shù)有限公司>>在線氣體分析>> HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀

活潑性/腐蝕性氣體分析儀
  • 活潑性/腐蝕性氣體分析儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌
  • 型號(hào) HPR-80
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間：2021-12-30 18:30:00瀏覽次數(shù)：668評(píng)價(jià)

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HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過程研究而設(shè)計(jì)的儀器?？煽焖?、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應(yīng)用：


• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點(diǎn)：


• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì)，壓力檢測(cè)可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考


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