好處

· 降低成本

· 制程氣體分配系統(tǒng)快速達標

· 監(jiān)測氣體中的粒子變化，以防影響產(chǎn)量

· 系統(tǒng)配置兩套設備：采樣傳感器和數(shù)據(jù)系統(tǒng)

· 改善制程控制

· 規(guī)格驗證

· 檢測制程干擾

· 量化系統(tǒng)變化造成的影響

· 精確測量粒徑

· Facility Net軟件的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)具有全面的數(shù)據(jù)儲存、管理、報告、報警等功能

· 可靠性高

· 無源腔設計，無需頻繁維修保養(yǎng)

· 無需流體即可完成監(jiān)測，這是其它系統(tǒng)所不具備的優(yōu)點

· 以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本

應用

· 氣體分配系統(tǒng)規(guī)則達標

· 監(jiān)測制程氣體