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YR-001D 自準(zhǔn)直儀多軸位移工作臺(tái)

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俯仰、傾斜和旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)可以分別在傾斜和俯仰方向進(jìn)行±5°的調(diào)節(jié),以及進(jìn)行±10°的旋轉(zhuǎn)(偏航)調(diào)節(jié)。這些調(diào)節(jié)可以讓光學(xué)部件和相應(yīng)的夾具與某個(gè)平面對(duì)準(zhǔn),然后在該平面內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。位移臺(tái)的頂板具有21個(gè)8-32(M4)螺孔構(gòu)成的陣列,螺孔之間的間隔為12.5mm。 YR-001D多軸位移臺(tái)配合YR-01X旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)用于典型的折射應(yīng)用。 YR-001D多軸位移臺(tái)采用日本三豐公司生產(chǎn)的高精度千分尺,其分度值為10微米,提供5弧秒的最小運(yùn)動(dòng)增量。每轉(zhuǎn)動(dòng)千分尺一周可以實(shí)現(xiàn)1.5°的旋轉(zhuǎn)和1.78°的傾斜。通過調(diào)節(jié)與千分尺相鄰的旋鈕,可以預(yù)先消除回程差。 一個(gè)旋鈕同時(shí)調(diào)節(jié)/鎖定傾斜(ΘX)和俯仰(ΘY)軸,而另一個(gè)旋鈕則調(diào)節(jié)/鎖定旋轉(zhuǎn)(ΘZ)軸。請(qǐng)注意,如果旋鈕被旋緊時(shí),其對(duì)應(yīng)方向軸的運(yùn)動(dòng)將會(huì)被有效地鎖定,除非千分尺退回零37.5 mm.可以使用一塊高度轉(zhuǎn)接板將位移臺(tái)的載物高度提高到標(biāo)準(zhǔn)的62.5 mm。這些高度轉(zhuǎn)接板可以用四個(gè)裝配M6螺絲的通孔固定到工作臺(tái)表面。然后,通過三個(gè)M6螺孔安將位移臺(tái)裝到高度轉(zhuǎn)接板上。 右圖顯示了一種典型應(yīng)用,用于將一個(gè)準(zhǔn)直透鏡與一根帶接頭的光纖固定在一起。被準(zhǔn)直的激光光束直接入射到棱鏡上,通過位移臺(tái)千分尺就可以調(diào)節(jié)激光光束的折射方向。

性能特點(diǎn)

自準(zhǔn)直儀的典型應(yīng)用:

1.直線度測試:直線度測量和驗(yàn)證是自準(zhǔn)直儀在機(jī)械制造行業(yè)典型的應(yīng)用之一。本系列準(zhǔn)直儀測試直線度具有精度高、重復(fù)性好和雙方向同時(shí)檢測的優(yōu)點(diǎn)。在直線度測量中,借助一個(gè)橋板將角度量轉(zhuǎn)化為位移量進(jìn)行測量,測量中使用首尾搭接法通過在整個(gè)測量行程內(nèi)分段移動(dòng)橋板完成測量過程。如圖:

研潤自準(zhǔn)直儀直線度測量研潤自準(zhǔn)直儀直線度測量

研潤自準(zhǔn)直儀直線度測量

2.自準(zhǔn)直儀平面度測試:平面度測量和驗(yàn)證是自準(zhǔn)直儀進(jìn)行直線度測量的拓展應(yīng)用。通過對(duì)待測平面的若干直線進(jìn)行測量(通常測量為米字型或者網(wǎng)格分布),最后將測試結(jié)果進(jìn)行計(jì)算分析。整個(gè)測量過程根據(jù)精度的要求和平面尺寸選用2個(gè)或3個(gè)不同尺寸的測量橋板進(jìn)行配合使用。如圖:

研潤自準(zhǔn)直儀平面度測量

3.自準(zhǔn)直儀垂直度測試:垂直度測量和驗(yàn)證原理為采用自準(zhǔn)直儀分別測量兩條待測導(dǎo)軌的直線度后,根據(jù)測量結(jié)果分析出兩條導(dǎo)軌的共面垂直度偏差,測量中基準(zhǔn)的傳遞采用直角轉(zhuǎn)像鏡(光學(xué)五棱鏡)進(jìn)行。如圖,先測試一條導(dǎo)軌的直線度并作為基準(zhǔn)線,然后將直角轉(zhuǎn)像鏡放置在另一導(dǎo)軌位置后進(jìn)行第二條直線測量并作為測量線。使用基準(zhǔn)線的直線度包容區(qū)旋轉(zhuǎn)90度后對(duì)測量線的直線度曲線進(jìn)行包容后的結(jié)果即為垂直度偏差值。

研潤自準(zhǔn)直儀垂直度測量

4.自準(zhǔn)直儀平行度測試:平行度測量和驗(yàn)證的基本原理是采用自準(zhǔn)直儀分別測量兩條待測導(dǎo)軌的直線度后,根據(jù)測量結(jié)果計(jì)算出兩條導(dǎo)軌的共面平行度偏差,測量中的基準(zhǔn)傳遞是采用直角轉(zhuǎn)像鏡(光學(xué)五棱鏡)進(jìn)行。如圖,首先測量一條導(dǎo)軌的直線度并作為基準(zhǔn)線,隨后將直角轉(zhuǎn)像鏡移動(dòng)至另一導(dǎo)軌位置后進(jìn)行第二條直線測量并作為測量線。使用基準(zhǔn)線的直線度包容區(qū)平移后對(duì)測量線的直線度曲線進(jìn)行包容后的結(jié)果即為平行度偏差值。

研潤自準(zhǔn)直儀平行度測量

5.自準(zhǔn)直儀位置不確定度測試:自準(zhǔn)直儀結(jié)合多面棱體和檢測的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可以進(jìn)行角度的不確定度檢測。

6.多個(gè)自準(zhǔn)直儀組合對(duì)光學(xué)塊進(jìn)行比較測量。(可以組合成測角儀)



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