P-726 PIFOC大負載物鏡掃描臺（Z軸）

剛度較高，于重量較大的物鏡

性能：

重量較大的物鏡的高動態(tài)定位、掃描

210g負載下，560Hz振動頻率

物鏡掃描定位，亞納米精度，毫秒級響應時間

掃描行程：100um，分辨率0.3nm

采用電容傳感器直接測量，線性度

無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結(jié)構(gòu)，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性

參數(shù)：

大尺寸：60*50.7mm	重復精度：±3nm
大目鏡直徑：M-32	推拉力：100/50N
閉環(huán)行程：100um	無負載下自振頻率：1120Hz
傳感器：電容傳感器	剛度：3.4N/um
閉環(huán)分辨率：0.4nm	串擾（X,Y）:50nm
線性度：0.02%

應用：

3D成像

拍攝

顯微技術

自聚焦系統(tǒng)

共聚焦顯微系統(tǒng)

表面分析

晶片光刻檢驗